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    [討論]膜厚儀tooling問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線morningtech
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2018-10-18
    這容易繞人
    離線ouyuu
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2018-10-18
    膜厚儀直接監(jiān)控的是水晶片的震蕩頻率。 O>' }q/  
    水晶膜厚是根據(jù)你設(shè)定的材料參數(shù)算出來的。 c["1t1G  
    TOOLING只是參數(shù)的一種，用來折算到你實(shí)際片子上的膜厚。 |*NLWN.ja)  
    另外各種材料的密度PID參數(shù)其實(shí)也是不同的。 ,<U= 7<NU  
    如果實(shí)在搞不懂把TOOLING設(shè)為1，實(shí)際膜厚自己折算就是。
    離線morningtech
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2018-10-20
    Tooling是鍍膜入門中比較簡單的一個問題，設(shè)成100%是種方法，有其好處。但不很建議這么做，因為這樣會把膜系改的面目全非；換一個膜系時，也要把這個系數(shù)乘進(jìn)每一層。 z\m$>C|  
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