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    [討論]膜厚儀tooling問題 [復制鏈接]

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    離線cugzqq
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-10-17
    關鍵詞: 膜厚儀
    請問大家,為什么修改tooling膜的厚度也會變化呢,tooling是怎么控制膜厚的,工作原理是什么?謝謝!
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    TOOLING是個比例。 yhnPS4DC  
    因為位置,角度,遮擋的不同, ?+{_x^  
    膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。
    離線morningtech
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    定義上,膜厚儀中材料 Tooling =  樣品上層厚度/晶振片上層厚度 YYe=E,q  
    如ouyuu說,就是個比例系數。 4`+R |"4  
    有了這個參數,鍍膜時,膜厚儀上的顯示厚度就等同于是樣品上的厚度。 %9L+ Q1o  
    6r h#ATep  
    :{KpnJvd  
    離線morningtech
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    改變了tooling參數,那么晶控儀為達到同樣的樣品厚度(設計厚度),監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實 比例 未變,那樣品上的厚度也必將變化。 +h1X-K:I  
    離線cugzqq
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:改變了tooling參數,那么晶控儀為達到同樣的樣品厚度(設計厚度),監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實 比例 未變,那樣品上的厚度也必將變化。 NIp]n[ =.q  
     (2018-10-17 11:57)  b&RsxW7  
    O.{  
    問題是:晶振 頻率變化與質量增加之間是存在公式,根據每秒頻率的變化確認厚度的變化, 晶控讀數不變,頻率變化也是不變化的,更改tooling是改變了膜厚儀什么地方使得實際厚度變了?
    離線cugzqq
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:TOOLING是個比例。 9E|QPT  
    因為位置,角度,遮擋的不同, 3} C-Hg+gt  
    膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。 (2018-10-17 08:46)  fJe5 i6`(  
    v?n# C  
    問題是:晶振 頻率變化與質量增加之間是存在公式,根據每秒頻率的變化確認厚度的變化, 晶控讀數不變,頻率變化也是不變化的,更改tooling是改變了膜厚儀什么地方使得實際厚度變了?
    離線morningtech
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    tooling變了,顯示厚度不變,頻率變化是變的。 JV+Uy$P!  
    晶控顯示厚度讀數是帶了tooling值的,只是給用戶看的,內部計算到的厚度是變的。 $#wi2Ve=6b  
    一個式子三個量, 一個量(顯示厚度,即設計厚度)不變,另兩個同時變,呵呵。
    離線cugzqq
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:tooling變了,顯示厚度不變,頻率變化是變的。 u