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morningtech:改變了tooling參數,那么晶控儀為達到同樣的樣品厚度(設計厚度),監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實 比例 未變,那樣品上的厚度也必將變化。 NIp]n[=.q (2018-10-17 11:57) b&RsxW7
ouyuu:TOOLING是個比例。 9E|QPT 因為位置,角度,遮擋的不同, 3}C-Hg+gt 膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。 (2018-10-17 08:46) fJe5 i6`(
morningtech:tooling變了,顯示厚度不變,頻率變化是變的。 u