對于故障分析而言，微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會放出光子(Photon)。舉例說明：在P-N結加偏壓，此時N阱的電子很容易擴散到P阱，而P的空穴也容易擴散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination ovtZHq/  
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Yu9(qRK  
服務內(nèi)容：1.P-N接面漏電；P-N接面崩潰 b<g9L4s  
          2.飽和區(qū)晶體管的熱電子 _t7aOH  
          3.氧化層漏電流產(chǎn)生的光子激發(fā) w3Qil[rg
 
          4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、 .|6Wmn-uS  
Hot Carriers Effect、ESD等問題 jW|M)[KJN