對于故障分析而言，微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會放出光子(Photon)。舉例說明：在P-N結(jié)加偏壓，此時N阱的電子很容易擴散到P阱，而P的空穴也容易擴散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination T9y768%  
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服務(wù)內(nèi)容：1.P-N接面漏電；P-N接面崩潰 w .l|G,%=  
          2.飽和區(qū)晶體管的熱電子 9<Ag1l  
          3.氧化層漏電流產(chǎn)生的光子激發(fā) TK %<a/  
          4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、 &%:*\_2
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Hot Carriers Effect、ESD等問題 -fQX4'3R