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OBIRCH/TIVA（激光故障定位法） OBIRCH/TIVA（激光故障定位法） 激光故障定位法是先進制程里最有效的定位方法。由于高度聚焦的激光引起的芯片局部溫度升高，會造成電阻的改變并引發(fā)外加電壓或電流的變化。因此激光掃描顯微鏡就是利用該原理來確定短路和開路的故障點。激光掃描顯微鏡配有兩種波長的激光，其中1340nm激光多用于檢測芯片，而1064nm激光多用于檢測III-V族器件。
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OBIRCH/TIVA（激光故障定位法）OBIRCH/TIVA（激光故障定位法） 激光故障定位法是先進制程里最有效的定位方法。由于高度聚焦的激光引起的芯片局部溫度升高，會造成電阻的改變并引發(fā)外加電壓或電流的變化。因此激光掃描顯微鏡就是利用該原理來確定短路和開路的故障點。激光掃描顯微鏡配有兩種波長的激光，其中1340nm激光多用于檢測芯片，而1064nm激光多用于檢測III-V族器件。
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