失效分析中的靜電
一,什么是靜電
當(dāng)兩種材料一起摩擦,一種材料丟失電子,另一種則收集電子,前者帶正電,后者則帶負(fù)電,如果兩種摩擦的物體在分離的過(guò)程中電荷難以中和,電荷即會(huì)積累使物體帶上靜電。靜電就是一種物體上的非移動(dòng)的充電。 二,靜電放電 如果帶靜電的物體遇到合適的機(jī)會(huì),它會(huì)將所帶的電荷放掉,又回到中性,此過(guò)程即是靜電放電ESD。 三,靜電對(duì)電子元件之影響 物體放電形式主要通過(guò)低電阻區(qū)域,放電電流I= Q/t,即靜電電荷變化量與完成這些靜電電荷變化所用的時(shí)間之比。當(dāng)I足夠大時(shí),能影響P-N結(jié)熱擊穿接合點(diǎn),導(dǎo)致氧氣層擊穿,引起即時(shí)的和不可逆轉(zhuǎn)的損壞,但這種損壞只有10%可引起產(chǎn)品即時(shí)損壞,90%的產(chǎn)品可毫無(wú)覺察地通過(guò)測(cè)試,流到客戶手里,但它的可靠性卻大大地降低了,并且靜電可吸附灰塵,降低基片凈化度,使IC成品率下降。 四,靜電產(chǎn)生的宏觀原因 環(huán)境如地面,裝修隔間,溫濕度。 工具和材料 清洗機(jī),吸管,鑷子,物流車,周轉(zhuǎn)箱,烘箱,紙片,工作機(jī)臺(tái)等。 工作者及其活動(dòng) 人的動(dòng)作如脫衣,起立,被感應(yīng),接觸帶電,剝離,沖擊,摩擦。 五,靜電的防護(hù) 1,靜電防護(hù)原則: 少產(chǎn)生,不積累,快泄放。 2,靜電防護(hù)基本方法:泄漏,中和,屏蔽 環(huán)境方面,鋪設(shè)防靜電地毯,地板,臺(tái)墊,入口處工作處接地線等防靜電消除器?刂茰貪穸,使用離子風(fēng)機(jī),靜電環(huán)。 器材方面,防靜電工作服,鞋,腕帶,導(dǎo)電泡沫板,防靜電文件盒,周轉(zhuǎn)箱,物流車,包裝袋,抗靜電劑等。 產(chǎn)品設(shè)計(jì)方面,將靜電防護(hù)體現(xiàn)到元件和產(chǎn)品設(shè)計(jì)中,盡量使用對(duì)靜電不敏感的元件,或者在器件內(nèi)部設(shè)置靜電防護(hù)元件,對(duì)使用的靜電放電敏感器件提供適當(dāng)?shù)妮斎氡Wo(hù)。 |