失效分析中的靜電
一,什么是靜電
當兩種材料一起摩擦,一種材料丟失電子,另一種則收集電子,前者帶正電,后者則帶負電,如果兩種摩擦的物體在分離的過程中電荷難以中和,電荷即會積累使物體帶上靜電。靜電就是一種物體上的非移動的充電。 二,靜電放電 如果帶靜電的物體遇到合適的機會,它會將所帶的電荷放掉,又回到中性,此過程即是靜電放電ESD。 三,靜電對電子元件之影響 物體放電形式主要通過低電阻區(qū)域,放電電流I= Q/t,即靜電電荷變化量與完成這些靜電電荷變化所用的時間之比。當I足夠大時,能影響P-N結熱擊穿接合點,導致氧氣層擊穿,引起即時的和不可逆轉的損壞,但這種損壞只有10%可引起產(chǎn)品即時損壞,90%的產(chǎn)品可毫無覺察地通過測試,流到客戶手里,但它的可靠性卻大大地降低了,并且靜電可吸附灰塵,降低基片凈化度,使IC成品率下降。 四,靜電產(chǎn)生的宏觀原因 環(huán)境如地面,裝修隔間,溫濕度。 工具和材料 清洗機,吸管,鑷子,物流車,周轉箱,烘箱,紙片,工作機臺等。 工作者及其活動 人的動作如脫衣,起立,被感應,接觸帶電,剝離,沖擊,摩擦。 五,靜電的防護 1,靜電防護原則: 少產(chǎn)生,不積累,快泄放。 2,靜電防護基本方法:泄漏,中和,屏蔽 環(huán)境方面,鋪設防靜電地毯,地板,臺墊,入口處工作處接地線等防靜電消除器?刂茰貪穸,使用離子風機,靜電環(huán)。 器材方面,防靜電工作服,鞋,腕帶,導電泡沫板,防靜電文件盒,周轉箱,物流車,包裝袋,抗靜電劑等。 產(chǎn)品設計方面,將靜電防護體現(xiàn)到元件和產(chǎn)品設計中,盡量使用對靜電不敏感的元件,或者在器件內部設置靜電防護元件,對使用的靜電放電敏感器件提供適當?shù)妮斎氡Wo。 |