光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)利用白光干涉原理，以0.1nm分辨率精準(zhǔn)捕捉物體的表面細(xì)節(jié)，實(shí)現(xiàn)三維顯微成像測量，被廣泛應(yīng)用于材料學(xué)領(lǐng)域的研究和應(yīng)用。

了解工作原理與技術(shù)

材料學(xué)領(lǐng)域中的光學(xué)3D表面輪廓儀，也被稱為白光干涉儀，是利用白光干涉原理進(jìn)行成像測量的儀器，是一種通過測量干涉光的干涉條紋來獲取物體表面形貌的方法。

該儀器通過發(fā)射一束寬光譜的白光，并將其照射到被測物體表面，然后收集被物體反射的光線，形成一系列干涉條紋。干涉條紋的形態(tài)和分布與物體表面的高度和形狀有關(guān)，通過分析這些干涉條紋，從而得到物體的三維形貌信息。

光學(xué)3D表面輪廓儀在測量中采用了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)，提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能，可以根據(jù)被測物體的形狀和表面特性，自動(dòng)調(diào)節(jié)光路和光學(xué)參數(shù)，以達(dá)到好的成像效果。這種自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的應(yīng)用，不僅可以減少成像過程中的誤差和失真，還可以提高成像的分辨率和清晰度。

此外，針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求，SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀的擴(kuò)展型相移算法EPSI集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，重建超光滑表面區(qū)域。

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了解產(chǎn)品特點(diǎn)與應(yīng)用

從0.5%~100%反射率的樣品，光學(xué)3D表面輪廓儀均可測量。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

光學(xué)3D表面輪廓儀的特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量；通道氣浮隔振系統(tǒng)大幅減小了環(huán)境振動(dòng)的影響，還可以降低高精度量測時(shí)的噪聲，提高超光滑表面形貌的測試精度。

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金屬光滑凹面輪廓測量

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超光滑透鏡測量

SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀囊括粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能，覆蓋距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

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在實(shí)際應(yīng)用中被廣泛應(yīng)用于材料學(xué)領(lǐng)域的研究和應(yīng)用。它可以用來測量各種材料的微觀形貌，包括金屬、陶瓷、塑料等。通過獲取物體的三維形貌信息，研究人員可以了解材料的表面粗糙度、形狀和尺寸等參數(shù)，從而進(jìn)一步分析材料的性能和特性。此外，光學(xué)3D表面輪廓儀還可以應(yīng)用于制造業(yè)等領(lǐng)域，在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造等行業(yè)中，提供重要的技術(shù)支持。