自問世以來，邊發(fā)射激光器（EEL）技術的功率轉(zhuǎn)換效率（PCE）不斷刷新紀錄，2006 年在 -50°C 溫度下達到 85% 的歷史最高效率。隨后，在 2007 年，EEL 在室溫下也達到了 76% 的高效率。然而，在隨后的 15 年里，再也沒有人創(chuàng)造新的效率記錄，這些成就一直是半導體激光器的巔峰。

相比之下，垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）的效率提高則較為緩慢。自 2009 年報告了 62% 的最高 PCE 以來，一直沒有重大突破，凸顯了 VCSEL 和 EEL 之間明顯的性能差距。作為一種微腔激光器，在光子學領域?qū)崿F(xiàn)高效轉(zhuǎn)換一直是 VCSEL 面臨的挑戰(zhàn)。

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高效 VCSEL 在綠色能源光子學中的應用前景

由于功率和效率較低，VCSEL 的早期應用主要集中在小型、低功率消費電子產(chǎn)品和數(shù)據(jù)中心的短距離通信領域。近年來，隨著智能技術的發(fā)展，低功耗 VCSEL 已成為智能傳感系統(tǒng)的關鍵核心光源芯片，在人臉識別和短距離傳感領域得到了廣泛應用，并取得了顯著成效。

最近，先進人工智能技術的快速發(fā)展揭示了 VCSEL 在傳感、通信、原子鐘、光學/量子計算、拓撲激光和醫(yī)療診斷等領域的巨大潛力。特別是自動駕駛對遠距離傳感技術的需求、高速數(shù)據(jù)處理中心對人工智能計算能力的需求以及 VCSEL 在智能和量子技術應用領域的發(fā)展，都凸顯了能耗這一核心問題的重要性。

VCSEL 的能效對移動設備和數(shù)據(jù)中心的能耗有重大影響。因此，開發(fā)超高能效 VCSEL 對于支持未來智能時代終端設備的發(fā)展至關重要，并在推動綠色能源光子學的發(fā)展方面發(fā)揮著重要作用。

在發(fā)表于《光：科學與應用》（Light: Science & Applications）上發(fā)表的一篇新論文中，四川大學電子信息學院及長光華芯的王俊教授研究團隊利用多結級聯(lián)有源區(qū)技術實現(xiàn)了 VCSEL 效率的突破。

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多結級聯(lián)垂直腔表面發(fā)射激光器的原理

通過采用反向隧道結實現(xiàn)有源區(qū)級聯(lián)，增益體積得以增加。這種設計策略允許載流子經(jīng)歷多個受激發(fā)射過程，從而不僅提高了器件的微分量子效率，而且保持了較低的閾值電流。

因此，近年來，大量研究人員利用多結 VCSEL 實現(xiàn)了指數(shù)級功率增長，使 VCSEL 成為自動駕駛汽車激光雷達的可行激光源。然而，多結 VCSEL 最大的潛在優(yōu)勢應該是其顯著的效率提高。

因此，我們結合理論模擬和實驗進行了一項系統(tǒng)研究，以探討多結 VCSEL 在電光轉(zhuǎn)換效率方面的優(yōu)勢。

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半導體激光器的電光轉(zhuǎn)換效率總結

研究小組模擬了多結 VCSEL 的縮放特性，并與單結 VCSEL 的縮放特性進行了比較。數(shù)值模擬表明，在環(huán)境溫度條件下，20 結 VCSEL 的電光轉(zhuǎn)換效率可超過 88%。

在實驗中，15 結 VCSEL 在室溫條件下的電光轉(zhuǎn)換效率達到 74%，斜率效率為 15.6 W/A，相當于超過 1100% 的差量子效率。研究人員認為，這一電光轉(zhuǎn)換效率是迄今為止 VCSEL 領域報告的最高效率，而這一差分量子效率也是半導體激光器領域報告的最高效率。

正如審稿人所說：“這的確是在一個長期停滯不前的領域取得的重大突破�！�

該研究的作者寫道：“未來，我們還計劃探索和拓展高效率、高功率多結 VCSEL 在通信領域的應用。這項研究不僅為 VCSEL 的進一步優(yōu)化和應用提供了寶貴的理論和實驗依據(jù)，也為高 PCE 半導體激光器的進一步開發(fā)和應用提供了有價值的參考。它有望對綠色能源光子學和激光物理學產(chǎn)生重大影響�！�

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論文鏈接：https://dx.doi.org/10.1038/s41377-024-01403-7