此機之前的故障是抽真空只能抽到5.5*10-3帕，然后再抽幾個小時都抽不下來一直在5.5*10-3帕左右。之后對該機清洗擴散泵更換泵油，對整個真空室進行徹底清理，更換高筏軸心密封圈，擋板密封圈，公轉密封圈。之后再抽真空冷抽可以抽到7.9*10-4帕，擴散泵能抽到1.2*10-4帕，熱抽只能抽到3.6*10-3帕就又抽不動了一直在3.6*10-3帕左右 好象和之前的情況一樣，對多個可能漏氣的地方我都進行了撿漏可是都沒有發(fā)現(xiàn)有漏的地方，實在是搞不明白。請那位高手指點指點，在此謝過！我的電話是0757-81694529 。

另本機是成都真空機械廠的1100光控

還是有漏氣啊，再查找

一般這種情況會是漏氣，要么就是真空爐內有水氣或油跡

真空漏氣繼續(xù)找 5GScqY,aB  

首先查看擴散泵油溫，油量，油質。 xk~gGT&  
如果沒問題就關機，過一晚，看看第2天的真空度能否保持在50帕以內不行就檢漏吧，電子槍，溫控探頭，通光窗口等重點檢查。

檢漏  查看擴散泵烘烤絲 在看看你的溫度測環(huán) 用比較真空計檢查真空計 包括高真空規(guī)管 都OK了的話 再換油  先燒油10小時以上 不停抽 到5.5 充氣再抽 到正常為止 ！不能正常的話 再拆泵 檢查 擴散泵 找找擴散泵原理的資料 1.2.3級排氣有啥問題 ！有問題的話  能加工修復最好  沒問題換泵  南光的泵不怎么地 呵呵 就是麻煩

樓主問題解覺了吧？ [ K/l;Zd  
回一個吧，交流交流。。。。

繼續(xù)查找看看

謝謝解決了