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引用第6樓27676995于2010-04-24 23:58發(fā)表的 : %4 檢漏 查看擴散泵烘烤絲 在看看你的溫度測環(huán) 用比較真空計檢查真空計 包括高真空規(guī)管 都OK了的話 再換油 先燒油10小時以上 不停抽 到5.5 充氣再抽 到正常為止 !不能正常的話 再拆泵 檢查 擴散泵 找找擴散泵原理的資料 1.2.3級排氣有啥問題 !有問題的話 能加工修復(fù)最好 沒問題換泵 南光的泵不怎么地 呵呵 就是麻煩 6d%V=1^F
引用第10樓dcjlcm于2010-07-23 02:20發(fā)表的 : LA9'HC(5 原來是坩堝密封圈有問題 _G62E$=
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