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    [討論]折疊式光刻物鏡 [復(fù)制鏈接]

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    離線phoenixzqy
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2012-10-01
    回 ilyhairpin 的帖子
    ilyhairpin:貌似很復(fù)雜哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] f.xA_Y>  
    l=={pb  
    還好。在專利基礎(chǔ)上修改的。
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    離線deaneliu
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2012-10-03
    請問LZ，這是用什么軟件做模擬的
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:請問LZ，這是用什么軟件做模擬的(2012-10-03 14:46)嬀/color] A*yi"{FLi  
    QG gF|c7  
    zemax oslo codev都可以的。
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    離線phoenixzqy
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:請問LZ，這是用什么軟件做模擬的(2012-10-03 14:46)嬀/color] IZ,oM!Y  
    uRV<?y%  
    成像軟件都可以。
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    離線hoxomo
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2012-11-22
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:專利未修改之前，NA不到0.1；
    圖中這個系統(tǒng)的設(shè)計要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46)  ,