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    [討論]折疊式光刻物鏡 [復(fù)制鏈接]

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    離線bruce45
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    只看該作者 20樓 發(fā)表于: 2013-02-04
    看看了
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 21樓 發(fā)表于: 2013-04-13
    回 bruce45 的帖子
    bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] mDZ/Kp{  
    I(!i"b9  
    歡迎討論！
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計培訓(xùn)，歡迎報名參加。請關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號。詳細內(nèi)容請咨詢13661915143（同微信號）
    離線darkwzj
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    只看該作者 22樓 發(fā)表于: 2013-04-17
    請問 您主要從哪些方面來評價像質(zhì)的呢？ 5Us$.p  
    您的設(shè)計指標中 對像質(zhì)是如何要求的？ &/)2P#u  
    另外NA不到0.1是指物方的么？還是像方？
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 23樓 發(fā)表于: 2013-04-17
    回 darkwzj 的帖子
    darkwzj:請問 您主要從哪些方面來評價像質(zhì)的呢？ ?ZF ~U  
    您的設(shè)計指標中 對像質(zhì)是如何要求的？ \}Hi\k+h':  
    另外NA不到0.1是指物方的么？還是像方？ (2013-04-17 20:43)  g]$e-X@k  
    .<fn+]  
    像質(zhì)的評價標準就那么幾個。點列圖 mtf   或者可以看一下psf :ebu8H9f%  
    這個系統(tǒng)時要做到衍射極限的，看點列圖沒太大意義。看mtf和衍射極限就行了。 -e2f8PV?3  
    na我也記不清楚是哪方的了。很早之前做的了
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計培訓(xùn)，歡迎報名參加。請關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號。詳細內(nèi)容請咨詢13661915143（同微信號）
    離線darkwzj
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    只看該作者 24樓 發(fā)表于: 2013-04-17
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:像質(zhì)的評價標準就那么幾個。點列圖 mtf 或者可以看一下psf Xw'Y &!z  
    這個系統(tǒng)時要做到衍射極限的，看點列圖沒太大意義�？磎tf和衍射極限就行了。 6j6P&[  
    na我也記不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] *eEn8rAr  
    ?l?_8y/ww  
    感謝回答~
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 25樓 發(fā)表于: 2013-04-17
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    darkwzj:感謝回答~ (2013-04-17 21:29)  F9