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    [推薦]晶控儀 XDM-3K [復(fù)制鏈接]

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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2014-02-28
    在發(fā)一個實拍圖 D=}\]Krmay  
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2014-03-08
    上圖是單個晶振片,用 XDM晶控儀 控制厚度和速率,總層數(shù)65層。 0B: v0 R  
    成膜結(jié)果:
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2014-03-27
    小頂一下,從實拍圖中看出工藝的朋友請說話。
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 2014-04-10
    有幾種手段控制  初始速率過沖
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2014-04-20
    附加的厚度補償功能,可以鍍制超薄層!
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    只看該作者 15樓 發(fā)表于: 2014-05-12
    有朋友說 2臺 3x0顯示 頻率為 0。昨天帶著我公司的XDM-3K及虛擬探頭,過去檢查一下,都是探頭及電纜問題。 "p7nngn~  
    問題雖不大,但影響生產(chǎn)及實驗,最近還有好幾位這樣的朋友咨詢。 SZ}=~yoD(  
    特小結(jié)一下: V:vqt@  
    1.  如果沒有頻率,一般是 探頭及電纜連接 有 短路或斷路 這樣的問題,這次兩個都是斷路,只是位置不同; !-%XrU8o3  
         接 XDM-3K,顯示損耗值 在 100%附近,顯然是 斷路。