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10樓
發(fā)表于: 2014-02-28
在發(fā)一個實拍圖
D=}\]Krmay
圖片:成膜照片_20140227_182830.JPG
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11樓
發(fā)表于: 2014-03-08
上圖是單個晶振片,用 XDM晶控儀 控制厚度和速率,總層數(shù)65層。
0B: v0R
成膜結(jié)果:
描述:XDM-3K晶控65層
圖片:B65層晶控成膜.GIF
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12樓
發(fā)表于: 2014-03-27
小頂一下,從實拍圖中看出工藝的朋友請說話。
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13樓
發(fā)表于: 2014-04-10
有幾種手段控制 初始速率過沖
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14樓
發(fā)表于: 2014-04-20
附加的厚度補償功能,可以鍍制超薄層!
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15樓
發(fā)表于: 2014-05-12
有朋友說 2臺 3x0顯示 頻率為 0。昨天帶著我公司的XDM-3K及虛擬探頭,過去檢查一下,都是探頭及電纜問題。
"p7nngn~
問題雖不大,但影響生產(chǎn)及實驗,最近還有好幾位這樣的朋友咨詢。
SZ}=~yoD(
特小結(jié)一下:
V:vqt@
1. 如果沒有頻率,一般是 探頭及電纜連接 有 短路或斷路 這樣的問題,這次兩個都是斷路,只是位置不同;
!-%XrU8o3
接 XDM-3K,顯示損耗值 在 100%附近,顯然是 斷路。