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上海膜林科技有限公司的新一代晶控儀 XDM-3K，全中文觸摸屏，操作簡單，含有多項(xiàng)專利技術(shù)，國產(chǎn)鍍膜機(jī)輕松實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。表現(xiàn)優(yōu)異，詳情請見公司網(wǎng)站：morningtech.cn oaH+c9v  
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可用晶振片     6MHz     D0,o
ml  
頻率范圍     5MHz~6MHz, =rs=8Ty?S  
頻率分辨率     0.005Hz     XPR:_  
頻率穩(wěn)定度     1ppm     uL qpbn  
膜厚分辨率     0.002A     kV]%Q3t  
測量更新率     10Hz Q>#)LHX  
材料數(shù)     112 KU8Cl>5  
膜系數(shù)     20, 可自動(dòng)串接 uv_P{%TK  
可設(shè)定層數(shù)     112層/每膜系 }(f,~?CP]  
可控制蒸發(fā)源數(shù)     3個(gè), 0~10V, 16bit K!$\REs  
數(shù)字輸入     8路兼容LVTTL，功能自定義 #lLn='
4  
數(shù)字輸出     10路常開繼電器，功能自定義 f%(e,KgW=  
探頭數(shù)     1，支持六探頭     kW7&~tX  
電源     90V~240V,AC, 20W -jklH/gF\%  
主機(jī)尺寸 XDM-3K     438*88*300 (mm,標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)機(jī)柜寬， 2U高度, 深300mm) 2={K-s20