大家好， -d8U Hc  
上海膜林科技有限公司的新一代晶控儀 XDM-3K，全中文觸摸屏，操作簡單，含有多項(xiàng)專利技術(shù)，國產(chǎn)鍍膜機(jī)輕松實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。表現(xiàn)優(yōu)異，詳情請(qǐng)見公司網(wǎng)站：morningtech.cn l0@+&Xj  
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可用晶振片     6MHz     TZ>_N;jTZ  
頻率范圍     5MHz~6MHz, xu(N'l.7&  
頻率分辨率     0.005Hz     {~a+dEz  
頻率穩(wěn)定度     1ppm     e>~7RN  
膜厚分辨率     0.002A     "&{sE RYY  
測量更新率     10Hz @q<F_'7is  
材料數(shù)     112 l 4e`-7  
膜系數(shù)     20, 可自動(dòng)串接 )DwHLaLW  
可設(shè)定層數(shù)     112層/每膜系 JV_V2L1Ut  
可控制蒸發(fā)源數(shù)     3個(gè), 0~10V, 16bit  b
MDj+i  
數(shù)字輸入     8路兼容LVTTL，功能自定義 :o=a@Rqx  
數(shù)字輸出     10路常開繼電器，功能自定義 H
COE'24I  
探頭數(shù)     1，支持六探頭     )D>= \Me  
電源     90V~240V,AC, 20W &vHfuM`  
主機(jī)尺寸 XDM-3K     438*88*300 (mm,標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)機(jī)柜寬， 2U高度, 深300mm) jTE~^  
控制方法     PID     S :%SarhBD  
語言     多國語言(中、英、…)         C'oNGOEd  
通信接口     RS232    

傳一個(gè)成膜過程實(shí)拍圖 "o6a{KY(  

描述:成膜過程實(shí)拍

圖片:SiO2-mega9-20131119.JPG

問：什么是控制延遲？ Ka|, qkb  
=}^J6+TVL  
成膜初始期間，晶控儀在打開蒸發(fā)源擋板后，將其功率保持在最后一個(gè)預(yù)熔階段功率不變，直到一定延遲時(shí)間后才去自動(dòng)控制蒸發(fā)源功率。這個(gè)延遲時(shí)間就是所謂的控制延遲時(shí)間。 T=D|jt  
在蒸發(fā)源擋板剛打開時(shí)，晶振片由于受到熱沖擊而產(chǎn)生異常頻率變化（不是厚度帶來的），此時(shí)晶控儀根據(jù)頻率計(jì)算出來的厚度及速率不是真實(shí)值。所以晶控儀不宜馬上自動(dòng)調(diào)節(jié)功率，而是延遲一定時(shí)間后再去自動(dòng)控制。