最新評論

likaihit 2023-11-29 00:13

實物在哪里

redplum 2023-11-29 00:14

這個很有意義

tassy 2023-11-29 00:59

関注微電子投影物鏡光學系統(tǒng)及光刻機

phisfor 2023-11-29 07:02

上海微電子“投影物鏡光學系統(tǒng)及光刻機”專利公布

星空38 2023-11-29 07:50

上海微電子公開的專利名為“投影物鏡光學系統(tǒng)及光刻機”

wangjin001x 2023-11-29 08:03

上海微電子“投影物鏡光學系統(tǒng)及光刻機”專利公布

liulin666 2023-11-29 08:17

上海微電子“投影物鏡光學系統(tǒng)及光刻機”專利公布 dTS7l02  

雨后無文 2023-11-29 08:20

有意義

牛開心 2023-11-29 08:37

上海微電子“投影物鏡光學系統(tǒng)及光刻機”專利公布

wmh1985 2023-11-29 08:39

本發(fā)明提供了一種投影物鏡光學系統(tǒng)及光刻機，所述投影物鏡光學系統(tǒng)沿其光軸方向從物面到像面依次包括：第一透鏡組、第二透鏡組、光闌、第三透鏡組與第四透鏡組。 其中，所述第三透鏡組與所述第二透鏡組關(guān)于所述光闌對稱，所述第四透鏡組與所述第一透鏡組關(guān)于所述光闌對稱，所述投影物鏡光學系統(tǒng)是對稱結(jié)構(gòu)，且所述投影物鏡光學系統(tǒng)中所有的透鏡組均具有正光焦度，以此可以在提高成像質(zhì)量的基礎(chǔ)上，增大曝光系統(tǒng)的視場尺寸，提升產(chǎn)率。